臺式掃描電鏡是使用較為廣泛的分析工具之一，因為它可以快速提供樣品表面和近表面的高分辨率和高景深圖像。結(jié)合微切刀的能力，它可以提供亞納米分辨率的橫截面圖像，并縮短周轉(zhuǎn)時間。因其作用特點，目前已廣泛用于材料科學（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學、醫(yī)學、半導體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災害（火災、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等領域。
臺式掃描電鏡工作原理：
掃描電鏡由電子槍發(fā)射出來的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5nm，經(jīng)過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學系統(tǒng)，電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與樣品物質(zhì)的交互作用，結(jié)果產(chǎn)生了各種信息：二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極發(fā)光和透射電子等。這些信號被相應的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度。由于經(jīng)過掃描線圈上的電流是與顯像管相應的亮度一一對應，也就是說，電子束打到樣品上一點時，在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個亮點。
掃描電鏡正是這樣利用逐點成像將樣品表面的不同特性，依次、成比例地變換成視頻信號來完成一幀，這樣，我們就可以從熒光屏中看到試樣表面多種特征圖像。
進口掃描電鏡下的圖像結(jié)果：
一、材料失效分析，利用掃描電鏡進行正確的金相分析各種光學顯微鏡不能分辨顯微組織與精密結(jié)構(gòu)，所以金相分析一般在低倍分析及光學顯微鏡分析的基礎上結(jié)合結(jié)構(gòu)分析(如X射線衍射分析、電子衍射分析)和微區(qū)成分分析(如波譜儀、能譜儀)等完成的。
二、斷口分析來明確材料斷裂機理，進行缺口分析，是掃描電鏡在失效分析中比較主要的應用。能夠?qū)嗔褭C理進行分析歸類，明確斷裂的類型，并且對裂紋源位置和擴展方向作出判定，明確金屬材料的主要斷裂機理。
三、磨損產(chǎn)物分析，能夠?qū)δp表面及磨損產(chǎn)物等進行分析，磨損表面攜帶了磨損主要的信息。磨損表面形貌有：擦傷、犁溝、點蝕、剝層、微動咬蝕及氣蝕魚鱗坑等，磨損產(chǎn)物主要有正常磨粒、疲勞剝塊、球粒、層狀磨粒、嚴重磨粒、切削磨粒、腐蝕磨損微粒、氧化顆粒、暗金屬氧化物磨粒、有色金屬磨粒、非金屬晶體及非金屬非晶體等。磨損產(chǎn)物的分析可以結(jié)合鐵譜技術、體視技術、結(jié)構(gòu)、成分分析等。
四、對腐蝕的檢驗分析，金屬腐蝕失效會在表面或斷口上留下各種腐蝕產(chǎn)物，其特點及相關形貌有：均勻腐蝕、斑點腐蝕、膿瘡腐蝕、點腐蝕、晶間腐蝕、縫隙腐蝕、穿晶腐蝕等，一般情況通過宏觀檢驗及光學顯微鏡分析，也可以進行精準分析。
五、鋼索斷裂的失效分析，電鏡具有很高的分辨率，可以觀察組成材料的顆?；蛭⒕?，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。
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